新三板又迎來一家行業(yè)龍頭企業(yè)——國內(nèi)規(guī)模最大的前道量檢測修復(fù)設(shè)備供應(yīng)商卓?？萍迹?74380.NQ）于今日正式登陸新三板并進(jìn)入創(chuàng)新層。目前，卓?？萍歼€處于上市輔導(dǎo)之中，輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)為海通證券。

卓海科技是一家專注于半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備領(lǐng)域的企業(yè)。前道量檢測設(shè)備是指，以光、電子束等介質(zhì)作為主要工具，針對光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等工藝設(shè)備的加工成果，進(jìn)行關(guān)鍵指標(biāo)的量測或潛在缺陷的檢測，其使用場景覆蓋芯片前道生產(chǎn)的幾乎全部工序。

目前卓?？萍嫉漠a(chǎn)品及服務(wù)得到了半導(dǎo)體行業(yè)知名客戶的廣泛認(rèn)可，終端客戶覆蓋客戶 A、客戶 B、客戶 C、華虹半導(dǎo)體、士蘭微、客戶 D、華潤上華、客戶 G 等國內(nèi)主流芯片產(chǎn)線客戶，具備成熟的商業(yè)化能力和較強(qiáng)的市場影響力。

創(chuàng)新性方面，卓?？萍际菄壹墝＞匦滦【奕似髽I(yè)。截至公開轉(zhuǎn)讓說明書簽署日，公司已取得專利 70 項，其中發(fā)明專利 30 項，另有 15 項專利正在申請中，其中發(fā)明專利 15 項；此外，公司還取得了軟件著作權(quán) 16 項。

業(yè)績方面，2022年至2023年前三季度，公司營收分別為3.14億元，1.93億元，歸母凈利潤分別為1.19億元，6872.51萬元。

國內(nèi)規(guī)模最大的前道量檢測修復(fù)設(shè)備供應(yīng)商 

已形成14nm制程修復(fù)工藝平臺

卓?？萍脊驹谇暗懒繖z測設(shè)備領(lǐng)域深耕十余年，具體來說，目前公司產(chǎn)品以前道量檢測修復(fù)設(shè)備為主，同時也致力于前道量檢測設(shè)備及核心組件的自主研發(fā)和芯片產(chǎn)線運(yùn)維工作。

在修復(fù)設(shè)備領(lǐng)域， 卓?？萍际菄鴥?nèi)最大的前道量檢測修復(fù)設(shè)備企業(yè)，已形成最高可達(dá) 12 英寸、 14nm 制程的修復(fù)工藝平臺，為芯片的安全穩(wěn)定生產(chǎn)提供了有效保障。近年來，卓?？萍疾粩嚅_展與原廠修復(fù)部門的競爭，市場占有率持續(xù)提升，已由 2018 年的 2.07%增長至 2023 年的7.73%。

在自研設(shè)備領(lǐng)域， 卓?？萍家呀?jīng)完成了應(yīng)力測量設(shè)備、 方塊電阻測量設(shè)備兩類自研整機(jī)設(shè)備的研發(fā)，相關(guān)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際原廠的同類產(chǎn)品水平，并已經(jīng)銷售給國內(nèi)多個知名芯片產(chǎn)線客戶，實現(xiàn)自研產(chǎn)品的商業(yè)化。

同時，卓?？萍汲掷m(xù)進(jìn)行核心組件的研發(fā)和供應(yīng)鏈的培育，已形成高重頻脈沖激光器、高壓電源裝置、精密傳輸系統(tǒng)等突破成果，不斷提高技術(shù)水平。

例如對缺陷檢測設(shè)備的核心組件-高重頻脈沖激光器而言，卓?？萍荚?60nm 制程節(jié)點已實現(xiàn)對應(yīng)型號的規(guī)模量產(chǎn)及銷售；在40nm 制程節(jié)點已通過技術(shù)驗證，正在進(jìn)行研發(fā)樣機(jī)轉(zhuǎn)產(chǎn)測試；在 28nm 制程節(jié)點已通過技術(shù)驗證， 正在進(jìn)行研發(fā)樣機(jī)制備。公司正在開展無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、薄膜膜厚測量設(shè)備的自主研發(fā)攻關(guān)，預(yù)計 2024 年形成樣機(jī)并進(jìn)行技術(shù)驗證。